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안녕하세요, KOLAS 인정 국가교정기관 한국캘랩(주)​입니다 :)

당사는 계측기/측정기 전문 교정기관으로 교정 성적서, 시험성적서를 발급하는 업체이며, 인가 항목수 265 항목으로 국내 TOP3 규모의 전문 교정기관입니다.

오늘은 압력 분야 중 용량형 진공계에 대하여 알아보도록 하겠습니다.

▶ 용량형 진공계란?

용량형 진공계

용량형 진공계란 진공도의 변화를 정전용량(capacitance)의 변화로 측정하는 진공계입니다.

▶ 용량형 진공계의 원리

용량형 진공계는 다이어프램의 전기 용량(capacitance) 변화를 이용해 진공도를 측정합니다. 진공 챔버 내의 압력이 다이어프램을 휘게 만들고, 이 변형이 다이어프램과 고정된 전극 사이의 전기 용량 변화를 일으켜 용량 변화를 측정하여 전기 신호로 변환하여 압력값을 계산합니다.

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▶ 교정 전 준비 사항

1. 기준 용량형 진공계 및 교정대상 용량형 진공계 그리고 압력 조절에 사용되는 각종 장치는 먼지, 수분 등 이물질이 들어가지 않도록 청결한 상태로 유지합니다.

2. 교정대상 기기를 배관할 때 교정대상 기기의 포트가 힘을 받으면 특성이 변할 수 있으므로 벨로우즈를 이용하여 연결하고 측정 중 교정대상 기기에 외부의 힘이 가해지지 않도록 합니다.

3. 교정대상 기기와 챔버간의 연결부에 압력 구배가 발생하여 측정에 영향을 미치지 않도록 배관하여야 하며 압력 조절장치를 비롯한 모든 부분의 미세 누출(leak)이 없음을 확인합니다.

4. 교정은 교정용 챔버에 교정대상 기기를 연결하고 최소한 6시간 이상 같은 온도 조건에 두어 완전한 열평형이 되도록 합니다.

5. 측정 회수와 교정점을 정합니다.

6.100 kPa 근처의 압력을 조절하는 과정에서 교정대상 기기와 기준 용량형 진공계에 대기압 보다 높은 압력이 걸리는 경우가 발생할 수 있으므로 이 경우에도 모든 연결부가 안전하고 미세 누출이 없음을 확인하여야 하며 과도한 압력이 인가되지 않도록 대비합니다.

7. 교정용 가스는 질소 가스를 사용합니다.

8. 교정용 챔버는 진동 때문에 측정에 영향을 받지 않도록 충분한 방진 시설이 되어 있는 곳에 설치되어야 합니다.

▶ 용량형 진공계의 측정

1. 교정대상 용량형 진공계의 경우 고객의 요구에 맞춰 교정용 챔버에 부착합니다. 고객의 요구사항이 없는 경우 진공계 내부의 다이아프램이 중력의 영향을 받지 않도록 지표면과 수직하게 교정용 챔버에 부착합니다. 이때 각 교정대상 기기는 기준 용량형 진공계와 동일한 높이에 부착합니다.

2. 배기 시스템을 이용하여 교정용 챔버의 기저 압력을 10-3 Pa 이하로 배기합니다. 보유 시스템이 10-3 Pa 이하로 배기가 불가능할 경우 가능한 최저 압력(기저 압력, base pressure)의 상태로 배기합니다. 진공 배기후 대기 압력과 습도를 기록합니다.

3. 기준 용량형 진공계의 영점을 조정합니다. 기준 용량형 진공계의 경우 영점 조절나사를 이용하여 영점을 맞춥니다. 영점을 조절하기 전 기준 진공계는 최소한 4시간 이상 warm-up 시간이 필요하며, 기타 계측기들도 충분하게 warm-up 되어야 합니다.

4. 교정대상 용량형 진공계의 영점 조정은 고객의 요구가 있는 경우 시행합니다.

5. 교정은 고진공에서 저진공으로 압력을 증가하면서 실시하고 각 교정점에서는 3분을 기다려 압력이 안정된 후 기준 진공계의 지시값과 교정대상 진공계의 지시값을 기록합니다.

6. 기준 진공계의 지시값(pref)과 교정대상 진공계의 지시값(prdg)간의 보정값(C)을 계산합니다.

7. 다음 교정점 근처까지 압력을 조절하고 5번, 6번을 수행합니다.

8. 이러한 일련의 측정이 완료되면 다시 기저 압력으로 배기한 후 동일한 측정을 5회 반복합니다.

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▶ 한국캘랩 측정능력

한국캘랩의 용량형 진공계는 (0.133 Pa abs ~ 133.322 kPa abs) 교정 범위까지 측정이 가능하고, 측정불확도는 (0.0５Pa ~ 26 Pa)입니다.

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이상으로 용량형 진공계에 대해 알아보았습니다.

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* 한국캘랩은 해당 측정, 분석 및 오랜 경험을 바탕으로 서비스를 제공하고 있으며 정확하고 신속한 교정 서비스로 많은 신뢰를 얻고 있는 종합 교정기관입니다.

그 외에도 265개 항목에 대한 다양한 교정 서비스를 제공하고 있으니, 문의사항 있으시면 언제든 연락 주시기 바랍니다. 항상 신속, 정확하고 신뢰성 있는 품질로 보답할 것을 약속드립니다.