[압력] 열전도형 진공계
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안녕하세요, KOLAS 인정 국가교정기관 한국캘랩(주)입니다 :)
당사는 계측기/측정기 전문 교정기관으로 교정 성적서, 시험성적서를 발급하는 업체이며, 인가 항목수 265 항목으로 국내 TOP3 규모의 전문 교정기관입니다.
오늘은 압력 분야 중 열전도형 진공계에 대하여 알아보도록 하겠습니다.
▶ 열전도형 진공계란?
열전도형 진공계란 기체의 열전도율(thermal conductivity)을 이용해 진공도의 정도 압력을 측정하는 장치로 가열된 센서가 온도 변화를 측정하여 진공도(압력)를 계산하는 원리입니다.
▶ 열전도형 진공계의 원리
필라멘트의 저항변화(온도변화)를 감지하고 일정 온도를 유지하기 위해 필요한 전류량을 압력 값으로 계산합니다.
▶ 교정 전 준비 사항
교정 자체보다 중요한 것은 기기의 교정 작업 환경에 대한 외관검사를 수행하는 것입니다. 다음 사항을 점검합니다.
1. 전기적 연결부가 있을 경우 전기 접촉부의 양호성
2. 기기의 청결한 상태
3. 두 장비의 기준 높이 최소화
▶ 열전도형 진공계의 측정 방법
1. 교정대상 열전도형 진공계를 교정용 챔버에 부착합니다.
2. 배기 시스템을 이용하여 교정용 챔버의 기저 압력을 10-1 Pa 이하로 배기합니다. 만약 10-1 Pa 이하로 배기가 불가능할 경우 가능한 교정대상 열전도형 진공계의 교정점 이하의 최저 압력 상태로 배기합니다.
3. 기준 용량형 진공계의 영점을 조정합니다. 기준 용량형 진공계의 경우 영점 조절나사를 이용하여 영점을 맞추고 용이치 않을 경우 소급 받은 성적서에 기인하여 영점을 보정한 상태로 용량형 진공계의 영점을 보정합니다. 기준 용량형 진공계는 최소한 4시간 이상을 열평형 시간이 필요하며, 기타 계측기들도 충분하게 열평형 되어야 합니다.
4. 교정대상 열전도형 진공계의 영점 조정은 고객의 요구가 있는 경우 시행합니다.
5. 교정은 고진공에서 저진공으로 압력을 증가하면서 실시하고 각 교정점에서 압력이 안정된 후 기준 진공계의 지시값과 교정대상 진공계의 지시값을 기록합니다.
6. 기준 진공계의 지시값과 교정대상 진공계의 지시값 간의 보정값 또는 압력비를 계산합니다.
7. 다음 교정점 근처까지 압력을 조정하고 5번, 6번을 수행합니다.
8. 이러한 일련의 측정이 완료되면 다시 기저 압력으로 배기한 후 동일한 측정을 3회 이상 반복 측정합니다.
9. 측정이 끝나면 펌프의 동작 스위치를 끄고 배기시킵니다.
▶ 한국캘랩의 측정능력
한국캘랩의 열전도형 진공계는 (0.133 Pa abs ~ 133.322 kPa abs) 교정 범위까지 측정이 가능하고, 측정불확도는 (0.0５Pa ~ 26 Pa)입니다.
이상으로 열전도형 진공계에 대해 알아보았습니다.
* 한국캘랩은 해당 측정, 분석 및 오랜 경험을 바탕으로 서비스를 제공하고 있으며 정확하고 신속한 교정 서비스로 많은 신뢰를 얻고 있는 종합 교정기관입니다.
그 외에도 265개 항목에 대한 다양한 교정 서비스를 제공하고 있으니, 문의사항 있으시면 언제든 연락 주시기 바랍니다. 항상 신속, 정확하고 신뢰성 있는 품질로 보답할 것을 약속드립니다.
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